在5月16-17日于比利时安特卫普实施的ITF World 2023举动中,英特尔技巧修造总经理Ann Kelleher宣告了在功夫周围的环节展开、讲线图,重心之一便是宣告“”,这是GAA FET的最新状况,体积更小,有望进一步接连摩尔定律,在1nm以下芯片中完成更高的晶体管密度。
依据举动现场的幻灯片,在堆迭式CFET之前,再有英特尔仍然公告的RibbonFET本事。此前英特尔曾宣告“Intel 20A”工艺节点,意味着芯片制程来到2nm节点,对应的岁月便是RibbonFET。这种场效应晶体管运用GAA全环绕栅极妄图,不妨遍及晶体管的密度和成效,在单位面积内不妨堆迭4个纳米片。
抵挡下一代CFET晶体管,英特尔还展示了多种别离的方案预备,这种架构的集成密度进一步拔擢,将n型和p型MOS元件堆迭在沿途,能够堆迭8个纳米片,比RibbonFET多一倍。当今,英特尔正在商讨两种标准的CFET:单片式(monolithic)和程序式(sequential)。
值得防卫的是,英特尔的途径图、CFET架构并不是独立提出的,而是与IMEC组织耐久合营的结束。IMEC全称为“Interuniversity Microelectronics Centre”微电子计议焦点,是与台积电、ASML齐名的芯片职业首要组织,接连了英特尔、台积电、三星与ASML、运用材料公司等,以及Cadence和Synopsys如此的半导体方案软件(EDA)公司。这家组织坚持了半导体规模真实完备吃紧公司,极力于进行悉数人日半导体时间的商洽。下图来自IMEC,图中右侧四个结构,均为CFET的变种,但是英特尔本身的CFET架构与IME示贪心有所折柳。
依据幻灯片,不要紧总结出英特尔晶体督工艺的演化门讲:Planar FET平面场效应管、FinFET鳍式场效应管(现时干流)、RibbonFET全环绕栅极场效应管、CFET堆迭式场效应管。外媒出现,在RibbonFET和CFET之间,不决意是否会有其它宗旨技巧会运用。
英特尔现场出现的幻灯片没有泄漏CFET架构的几乎运用时光,然则外媒推测,IMEC的说径年今后,芯片制程不妨来到0.5纳米,揣度该架构能够建立英特尔达到这一方向,在较长一段岁月内接连不停摩尔定律。